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LS-611/HMDSヘキサメチルジイラザン (HMDS)
CAS NO。999-97-3

チップフォトリソグラフィープロセスで粘着化剤およびフォトレジストとして使用されるフォトレジストは、リチウム電池電解質の安定剤として使用され、リチウムイオン電池の電気化学的性能およびサイクル性能を向上させることができます。そして医学的使用。

KB21 CAS NO。999-97-3 KB3

LS-611/HMDSヘキサメチルジサラザン (HMDS) 999-97-3の説明


化学名

ヘキサメチルジリラザン

同義語

1,1,1,3,3,3-ヘキサメチルジサラザン; HMDS

同等品

ダイナシランHMDS

分子式

C6H19NSi2

分子量

161.39

CAS NO。

999-97-3

EINECS NO.

213-668-5

LS-611/HMDSヘキサメチルジサラザン (HMDS) 999-97-3の典型的な技術的特性


外観

無色透明液体

純度 (%)

純度 (%): 99.0min (工業用グレード); 99.9min (電子グレード)

フラッシュポイント

27 °C

屈折率 (25 °C)

1.406 ~ 1.410

密度 (25 °C、g/cm3)

0.770 ~ 0.780


LS-611/HMDSヘキサメチルジラザン (HMDS) 999-97-3の応用


  • 有機合成におけるグループ保護試薬、溶媒、活動家など。

  • シリコンゴム製品の構造制御剤;

  • 電子産業におけるチップ洗浄剤、リソグラフィ接着剤、窒化シリコンフィルムCVD沈降フロントドライブ。

  • リチウムバッテリー電解質添加剤;

  • 無機フィラーの表面処理および他の材料の疎水性処理。


LS-611/HMDSヘキサメチルジサラザン (HMDS) 999-97-3のパッケージと保管


  • 150kgでは、750kg IBC

  • 涼しく、乾燥し、換気された場所に保管してください。 日光および火源から保って下さい。 未開封の容器に保管してください、保存期間は生産日から12ヶ月です。

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